Silicon, chemical etching
- Författare
- (Ed.: J. Grabmaier with contrib. by R.B. Heimann ...)
- Genre
- Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Springer | 1982 | Tyskland, Berlin, New York | 226 sidor. : ill. 25 cm | 0-387-11862-4, 3-540-11862-4 |